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数年からMPW用のマスクデータ処理の優れてきたイクスヤリスは現在、完全に総合的なマスクデータ処理フローを与えるため供給を拡げます。この処理フローはマスク作成の最先端プロセスを速め、自動化し、そしてマスクとシリコンの原価を低減し、商品化までの時間を短縮します。

  • 費用分担へ、MPW開発が最適化されました
  • 人的ミスを避けるために、フレーム生成が完全に自動化されました
  • 生産性を高めるために、直観的なマスクセット作成方法を使用します
  • シリコンの利用を最大にするために、ウェハマップを最適化する
    製造の前、GDSII及びOASISファイルで潜在的な問題を
    フィルタするために、先端的な照合機能を使用します
  • ショット数、使用できるダイの数、禁止領域などのような様々な基準に基づいて、露光ショットマップ(exposure shot map, あるいは step plan)を最適化します
  • フレームレベルとウェハレベルでダミー挿入をユーザーに完全カスタマイズ可能にしました
  • 製造プロセスを能率化するため、マスク管理とマスクオーダー
    フォームに対して強力なSQLデータベースの相互作用を使用します


Xyalis integrated MDP solution